精密影像測(cè)量?jī)x測(cè)量精密小孔深度的疑問

北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司解讀精密影像測(cè)量?jī)x測(cè)量精密小孔深度的疑問

有很多客戶在經(jīng)常遇到要測(cè)量小于0.5以下的小孔深度，測(cè)量這類工件應(yīng)該分為以下幾種情況去選擇測(cè)量?jī)x器與方法：
孔深度要求測(cè)量精度在0.01mm之內(nèi)時(shí)：
1、一般的影像測(cè)量?jī)x用的是環(huán)形燈，過深的小孔可能會(huì)因?yàn)楣庹斩炔粔虻貌坏胶玫臏y(cè)量效果，用影像測(cè)量?jī)x對(duì)焦方法測(cè)量的精度只能在0.01-0.03之間浮動(dòng)，一般都達(dá)不到客戶的要求。
2、用高度計(jì)測(cè)量時(shí)只能用很小的測(cè)針去測(cè)量，小的測(cè)針可能沒有。另外是有些客戶自己加工小測(cè)針，但測(cè)針可能會(huì)由于過小而引起剛性不足，達(dá)不到精度測(cè)量要求。如果測(cè)量的是小孔的小階梯層深度時(shí)，測(cè)針是無(wú)法測(cè)量的。
3、用帶有同軸光的測(cè)量工具顯微鏡測(cè)量，高的放大倍數(shù)與精密的光學(xué)解析度可以把小孔的測(cè)量精度保持在0.003之內(nèi)。
當(dāng)然，不同的測(cè)量方法與測(cè)量?jī)x器相關(guān)。價(jià)格就會(huì)相對(duì)影響到成本的投資，如何選擇儀器的這個(gè)問題必須按客戶實(shí)際選購(gòu)。