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材料表面3D輪廓儀具有專業(yè)的測量能力,可在幾秒內(nèi)就完成整個視場的掃描得到測量樣品的3D圖形與高度數(shù)據(jù),檢測速度與深度量測能力優(yōu)于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機(jī)快又安全,維護(hù)成本更低。
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